Obsah:
Definícia - Čo znamená nanoitografia?
Nanolitografia je odvetvie nanotechnológií a názov procesu potlače, písania alebo leptania vzorov na mikroskopickej úrovni s cieľom vytvoriť neuveriteľne malé štruktúry. Tento proces sa zvyčajne používa na vytváranie menších a rýchlejších elektronických zariadení, ako sú mikro / nanočipy a procesory. Nanolitografia sa používa najmä v rôznych technologických odvetviach od elektronických po biomedicínske.Techopedia vysvetľuje nanoitografiu
Nanolitografia je všeobecný pojem, ktorý sa používa na opis rôznych procesov vytvárania nanomateriálov na rôznych médiách, z ktorých najbežnejším je kremík polovodičového materiálu. Hlavným účelom nanolitografie je zmršťovanie elektronických zariadení, ktoré umožňuje nahromadiť viac elektronických súčiastok do menších priestorov, tj menšie integrované obvody, ktoré vedú k menším zariadeniam, ktoré sa vyrábajú rýchlejšie a lacnejšie, pretože sa vyžaduje menej materiálov. To tiež zvyšuje výkon a reakčné časy, pretože elektróny potrebujú len cestovať na veľmi krátke vzdialenosti.
Niektoré techniky používané v nanolitografii sú nasledujúce:
- Röntgenová litografia - Implementovaná prostredníctvom prístupu na blízku tlač a pri Fresnelovej difrakcii sa spolieha na röntgenové snímky blízkeho poľa. Je známe, že predlžuje svoje optické rozlíšenie na 15 nm.
- Double patterning - Metóda používaná na zvýšenie rozlíšenia výšky tónu litografického procesu tlačením ďalších vzorov medzi medzerami už vytlačených vzorov v rovnakej vrstve.
- Litografia s priamym zápisom elektrónovým lúčom (EBDW) - najbežnejší postup používaný v litografii, pri ktorej sa na vytváranie vzorov používa lúč elektrónov.
- Extrémna ultrafialová (EUV) litografia - forma optickej litografie, ktorá využíva ultra krátke svetelné vlnové dĺžky 13, 5 nm.
